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第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了

    谷方绪微微叹气,

    “是的。”

    “具体问题呢?”

    林决转头看了谷方绪一眼,继续问。

    “目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。”

    林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。

    然后便发现。

    很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。

    这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。

    但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。

    属于是一根筋两头堵的难点。

    见状,谷方绪继续说道,

    “除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善......

    我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”

    说话间,林决已经快速阅览好几个文件。

    “好的,具体情况我下来再看看。”

    林决说着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手,

    “谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!”

    谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。

    “那好!共同进步!”

    说罢,两人紧紧握手。

    恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。

    “好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。”

    “好的。”

    看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。

    说实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。

    但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉......

    不过......

    即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。

    相反,从最私心的角度来讲。

    他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了......

    因为就算冯宴教授回国。

    可能在材料方面的进步,前进也是有限的。

    但林决呢......

    在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹!

    冯教授能够保证下限。

    但林决,却让人觉得上限能够无限拔高......

    给我证明吧林决,这是你的时代!

    .............

    而在接下来的两天。

    光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。

    相关的资金人手,立马给林决安装到位!

    另一边。

    北大物院。

    许渊也是听闻了这个消息。

    “这小子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?”

    虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。

    “算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......”

    而在数院方面。

    江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。

    之前他就听周清源说过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。

    江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。

    毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。

    除此之外。

    关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是......

    他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。

    如此一来。

    至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。

    而更加证明这一点的是......

    和冯教授车发生事故的另一方,是一个名叫周扬的华裔。

    经查明......

    这便是周德明之子。

    在本次事故中,周扬也受到了伤,住进医院。

    不过很快,周扬便被一群人带走,目前暂时不知去向......

    .............

    这天早上。

    光机所。

    新材料组部门办公室。

    通过国家科学技术中心紧急抽调,组成的十余名新材料研发团队成员,正坐在台下。

    他们之中,有九成都是四十岁到六十岁之间,拥有丰富经验的尖端材料工程师。

    甚至为了给林决搭班子。

    连魔都首席材料研发组组长袁泽成都给叫过来了,上面的重视程度自是不用多说!

    此时。

    黄作平站在台上,正跟众人介绍着林决,

    “.......这就是我们项目组带头人林教授,以后,也由他来主持材这个新部门所有研发进度和细节把控!”

    “啪啪啪啪啪!!!!”

    下方响起一阵阵热烈掌声。

    这些原本都是其他光机所,亦或者都是中科院的人员。

    所以对于如今京城光机所的研发进度,他们从科学技术中心的文件中,以及光机所某些不算明确的通告中,都是隐约猜到了一些。

    而在今天早上刚来的时候。

    黄作平给众人发了工程进度,小小展示了下林决近段时间,在多层膜领域所做出的成果。

    现在看来.....

    效果还是不错的!

    黄所将林决来光机所的战绩亮出来,在场这些先前还抱有埋怨的大牛,现在就没什么话说了。

    没办法。

    一个多月,将多层膜误差问题,干进世界前列啊。

    这踏马是什么天才!?

    而且科学技术中心这两天的动静大家都看在眼里,让他们也不禁对林决产生些许好奇。

    这个在材料学领域,算是新兵蛋子的林教授,能搞出个动静......

    “来吧,林教授......您来说两句。”

    林决点了点头,来到众人正前方。

    视线轻轻扫过下方后,他缓缓开口,

    “欢迎大家的到来,我们的团队以后只干三件事!”

    “创新!”

    “创新!”

    “还他......是创新!”

    微微顿了顿,

    “我已经和谷教授商量过,接下来......咱们主要攻克方向是EUV光刻胶方向。”

    闻言,在座众学者们不由得微微一愣。

    EUV光刻胶!?

    那可是光刻机材料领域中,最难啃的骨头,也是和国外代差最严重的几个领域之一了。

    这......一上来难度就拉满了吗?

    “林教授,我有话说。”

    坐在前方的魔都光机所材料组长袁泽成举手。

    “袁教授请......”

    “咱们作为一个新的团队,是不是应该先尝试难度稍微小一些的方向,比如NEG吸气薄膜材料,亦或者基体润滑涂层......

    咱们班子刚刚组成,总得给些时间适应适应。”

    袁泽成这话说得其实完全在理。

    林决一上来就要弄光刻胶,确实有点过于不把这个难题当个事儿了!

    这可是EUV链路中,对各个环节耦合最深最难的材料之一。

    涉及覆盖面和难度,都不是一个两个,短时间内很难解决的。

    一个新团队,面对此种难题,不用想也知道,刚开头便会四处碰壁,难以进行。

    但......

    袁泽成还是不够了解林决。

    然后在众人视线中,林决看向袁教授,认真说道,

    “不用适应,现在我手里已经有个方案了......”

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