第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了
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谷方绪微微叹气,
“是的。”
“具体问题呢?”
林决转头看了谷方绪一眼,继续问。
“目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。”
林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。
然后便发现。
很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。
这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。
但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。
属于是一根筋两头堵的难点。
见状,谷方绪继续说道,
“除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善......
我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”
说话间,林决已经快速阅览好几个文件。
“好的,具体情况我下来再看看。”
林决说着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手,
“谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!”
谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。
“那好!共同进步!”
说罢,两人紧紧握手。
恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。
“好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。”
“好的。”
看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。
说实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。
但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉......
不过......
即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。
相反,从最私心的角度来讲。
他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了......
因为就算冯宴教授回国。
可能在材料方面的进步,前进也是有限的。
但林决呢......
在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹!
冯教授能够保证下限。
但林决,却让人觉得上限能够无限拔高......
给我证明吧林决,这是你的时代!
.............
而在接下来的两天。
光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。
相关的资金人手,立马给林决安装到位!
另一边。
北大物院。
许渊也是听闻了这个消息。
“这小子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?”
虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。
“算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......”
而在数院方面。
江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。
之前他就听周清源说过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。
江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。
毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。
除此之外。
关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是......
他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。
如此一来。
至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。
而更加证明这一点的是......
和冯教授车发生事故的另一方,是一个名叫周扬的华裔。
经查明......
这便是周德明之子。
在本次事故中,周扬也受到了伤,住进医院。
不过很快,周扬便被一群人带走,目前暂时不知去向......
.............
这天早上。
光机所。
新材料组部门办公室。
通过国家科学技术中心紧急抽调,组成的十余名新材料研发团队成员,正坐在台下。
他们之中,有九成都是四十岁到六十岁之间,拥有丰富经验的尖端材料工程师。
甚至为了给林决搭班子。
连魔都首席材料研发组组长袁泽成都给叫过来了,上面的重视程度自是不用多说!
此时。
黄作平站在台上,正跟众人介绍着林决,
“.......这就是我们项目组带头人林教授,以后,也由他来主持材这个新部门所有研发进度和细节把控!”
“啪啪啪啪啪!!!!”
下方响起一阵阵热烈掌声。
这些原本都是其他光机所,亦或者都是中科院的人员。
所以对于如今京城光机所的研发进度,他们从科学技术中心的文件中,以及光机所某些不算明确的通告中,都是隐约猜到了一些。
而在今天早上刚来的时候。
黄作平给众人发了工程进度,小小展示了下林决近段时间,在多层膜领域所做出的成果。
现在看来.....
效果还是不错的!
黄所将林决来光机所的战绩亮出来,在场这些先前还抱有埋怨的大牛,现在就没什么话说了。
没办法。
一个多月,将多层膜误差问题,干进世界前列啊。
这踏马是什么天才!?
而且科学技术中心这两天的动静大家都看在眼里,让他们也不禁对林决产生些许好奇。
这个在材料学领域,算是新兵蛋子的林教授,能搞出个动静......
“来吧,林教授......您来说两句。”
林决点了点头,来到众人正前方。
视线轻轻扫过下方后,他缓缓开口,
“欢迎大家的到来,我们的团队以后只干三件事!”
“创新!”
“创新!”
“还他......是创新!”
微微顿了顿,
“我已经和谷教授商量过,接下来......咱们主要攻克方向是EUV光刻胶方向。”
闻言,在座众学者们不由得微微一愣。
EUV光刻胶!?
那可是光刻机材料领域中,最难啃的骨头,也是和国外代差最严重的几个领域之一了。
这......一上来难度就拉满了吗?
“林教授,我有话说。”
坐在前方的魔都光机所材料组长袁泽成举手。
“袁教授请......”
“咱们作为一个新的团队,是不是应该先尝试难度稍微小一些的方向,比如NEG吸气薄膜材料,亦或者基体润滑涂层......
咱们班子刚刚组成,总得给些时间适应适应。”
袁泽成这话说得其实完全在理。
林决一上来就要弄光刻胶,确实有点过于不把这个难题当个事儿了!
这可是EUV链路中,对各个环节耦合最深最难的材料之一。
涉及覆盖面和难度,都不是一个两个,短时间内很难解决的。
一个新团队,面对此种难题,不用想也知道,刚开头便会四处碰壁,难以进行。
但......
袁泽成还是不够了解林决。
然后在众人视线中,林决看向袁教授,认真说道,
“不用适应,现在我手里已经有个方案了......”
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“是的。”
“具体问题呢?”
林决转头看了谷方绪一眼,继续问。
“目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。”
林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。
然后便发现。
很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。
这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。
但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。
属于是一根筋两头堵的难点。
见状,谷方绪继续说道,
“除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善......
我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”
说话间,林决已经快速阅览好几个文件。
“好的,具体情况我下来再看看。”
林决说着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手,
“谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!”
谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。
“那好!共同进步!”
说罢,两人紧紧握手。
恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。
“好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。”
“好的。”
看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。
说实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。
但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉......
不过......
即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。
相反,从最私心的角度来讲。
他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了......
因为就算冯宴教授回国。
可能在材料方面的进步,前进也是有限的。
但林决呢......
在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹!
冯教授能够保证下限。
但林决,却让人觉得上限能够无限拔高......
给我证明吧林决,这是你的时代!
.............
而在接下来的两天。
光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。
相关的资金人手,立马给林决安装到位!
另一边。
北大物院。
许渊也是听闻了这个消息。
“这小子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?”
虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。
“算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......”
而在数院方面。
江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。
之前他就听周清源说过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。
江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。
毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。
除此之外。
关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是......
他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。
如此一来。
至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。
而更加证明这一点的是......
和冯教授车发生事故的另一方,是一个名叫周扬的华裔。
经查明......
这便是周德明之子。
在本次事故中,周扬也受到了伤,住进医院。
不过很快,周扬便被一群人带走,目前暂时不知去向......
.............
这天早上。
光机所。
新材料组部门办公室。
通过国家科学技术中心紧急抽调,组成的十余名新材料研发团队成员,正坐在台下。
他们之中,有九成都是四十岁到六十岁之间,拥有丰富经验的尖端材料工程师。
甚至为了给林决搭班子。
连魔都首席材料研发组组长袁泽成都给叫过来了,上面的重视程度自是不用多说!
此时。
黄作平站在台上,正跟众人介绍着林决,
“.......这就是我们项目组带头人林教授,以后,也由他来主持材这个新部门所有研发进度和细节把控!”
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下方响起一阵阵热烈掌声。
这些原本都是其他光机所,亦或者都是中科院的人员。
所以对于如今京城光机所的研发进度,他们从科学技术中心的文件中,以及光机所某些不算明确的通告中,都是隐约猜到了一些。
而在今天早上刚来的时候。
黄作平给众人发了工程进度,小小展示了下林决近段时间,在多层膜领域所做出的成果。
现在看来.....
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没办法。
一个多月,将多层膜误差问题,干进世界前列啊。
这踏马是什么天才!?
而且科学技术中心这两天的动静大家都看在眼里,让他们也不禁对林决产生些许好奇。
这个在材料学领域,算是新兵蛋子的林教授,能搞出个动静......
“来吧,林教授......您来说两句。”
林决点了点头,来到众人正前方。
视线轻轻扫过下方后,他缓缓开口,
“欢迎大家的到来,我们的团队以后只干三件事!”
“创新!”
“创新!”
“还他......是创新!”
微微顿了顿,
“我已经和谷教授商量过,接下来......咱们主要攻克方向是EUV光刻胶方向。”
闻言,在座众学者们不由得微微一愣。
EUV光刻胶!?
那可是光刻机材料领域中,最难啃的骨头,也是和国外代差最严重的几个领域之一了。
这......一上来难度就拉满了吗?
“林教授,我有话说。”
坐在前方的魔都光机所材料组长袁泽成举手。
“袁教授请......”
“咱们作为一个新的团队,是不是应该先尝试难度稍微小一些的方向,比如NEG吸气薄膜材料,亦或者基体润滑涂层......
咱们班子刚刚组成,总得给些时间适应适应。”
袁泽成这话说得其实完全在理。
林决一上来就要弄光刻胶,确实有点过于不把这个难题当个事儿了!
这可是EUV链路中,对各个环节耦合最深最难的材料之一。
涉及覆盖面和难度,都不是一个两个,短时间内很难解决的。
一个新团队,面对此种难题,不用想也知道,刚开头便会四处碰壁,难以进行。
但......
袁泽成还是不够了解林决。
然后在众人视线中,林决看向袁教授,认真说道,
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